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一、引言在現(xiàn)代工業(yè)制造和科學(xué)研究中，表面處理技術(shù)扮演著至關(guān)重要的角色。臺式真空等離子清洗機(jī)作為一種先進(jìn)的表面處理設(shè)備，廣泛應(yīng)用于微電子、光電器件、生物醫(yī)學(xué)材料等多個領(lǐng)域。本文將詳細(xì)介紹這種清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)組成、工作原理以及其相較于傳統(tǒng)清洗方法所具備的優(yōu)勢。二、臺式真空等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)真空腔室臺式真空等離子清洗機(jī)的核心是一個密閉的真空腔室，該腔室能夠通過機(jī)械泵或分子泵實現(xiàn)高真空環(huán)境。腔室內(nèi)壁通常采用不銹鋼材質(zhì)，以確保耐腐蝕性和良好的氣密性。為了適應(yīng)不同尺寸和形狀的樣品，腔室內(nèi)部可...